インターフェロメトリー（interferometry）は、光の干渉現象を利用して物体の形状や表面の性質を計測するための技術です。光の波の干渉を観察し、波の位相差から試料や物体の特性を解析します。干渉計や干渉顕微鏡などの装置を使用して、非接触で高精度な計測が可能です。
インターフェロメトリーは、物体の表面形状や厚さ、膜の層の厚さ、光学的な定数、光学的な非均一性など、さまざまな物理的な特性を計測するために広く使用されています。干渉計の原理に基づいて、以下のような手法があります。
- 干渉計による干渉縞の解析: 干渉計を使用して光の干渉縞を観察し、波の位相差や光路差から物体の形状や厚さを計測します。干渉縞の変化を解析することで、微小な変位や振動、膨張などの現象を検出することも可能です。
- 干渉顕微鏡による表面解析: 干渉顕微鏡は、物体の表面の微小な凹凸や形状を高精度で計測するために使用されます。物体の反射や透過した光の干渉パターンを観察し、表面の形状や薄膜の厚さ、表面粗さなどを解析します。
- ホログラフィックインターフェロメトリー: ホログラフィックインターフェロメトリーは、光の干渉パターンを記録したホログラムを使用して、物体の形状や変位を計測する技術です。ホログラムを再生し、光の干渉パターンから物体の形状や変位情報を取得します。
インターフェロメトリーは、光学や素粒子物理学、材料科学、生物医学などのさまざまな分野で広く応用されています。物体の形状や性質の計測だけでなく、材料の応力解析、干渉縞を利用した干渉フィルターの設計、光学素子の品質評価などにも活用されています。
